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    產(chǎn)品中心

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    AALBORG氣體質(zhì)量流量計(jì)

    產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器

    典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

    設(shè)計(jì)特點(diǎn):
    -剛性金屬結(jié)構(gòu)
    -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm 
    -*大壓力500psig(34.5Bar)
    -泄漏率1*10-7氦氣
    -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
    -可傾斜的LCD讀表
    -0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
    -電路保護(hù)
    -可用作便攜式的設(shè)備
    -0到100比例顯示
    -可配備流量計(jì)算機(jī)
    精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
    重復(fù)性:±0.5%滿量程


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