包括單通道轉(zhuǎn)子流量計(jì)、多通道轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣體質(zhì)量流量計(jì)、液體體積流量計(jì)和體積流量計(jì)、渦街/渦輪流量計(jì)等。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量原理
通過(guò)層流裝置及毛細(xì)管、傳感器共同組成熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量核心，即使環(huán)境溫度改變，仍能保證其測(cè)量精度。與測(cè)定體積型的流量計(jì)相反，熱式質(zhì)量流量計(jì)不需要附帶溫度和壓力感應(yīng)器就能正確測(cè)量流量。這就意味著裝置的簡(jiǎn)單和費(fèi)用的節(jié)約
層流元件
**產(chǎn)品層流組件是一個(gè)蝕刻有流量通槽的高精*度的不銹鋼的圓盤(pán)。每個(gè)蝕刻流量通槽和感應(yīng)器管是相對(duì)應(yīng)的，并且每個(gè)圓盤(pán)表示一個(gè)固定的流量容量;若干圓盤(pán)被堆積在一起就組成層流裝置。層流裝置的設(shè)計(jì)確保了流量在感應(yīng)器管和主管線之間是成比例的。甚至在改變了的過(guò)程狀態(tài)下，仍可維持它的校正關(guān)系。
校正 
每個(gè)儀器都是在可能的實(shí)際工作的環(huán)境下校準(zhǔn)的，很多標(biāo)準(zhǔn)氣體也是可以獲得的。通過(guò)層流裝置強(qiáng)行將介質(zhì)成一定比例的分配到旁路的毛細(xì)管中,與傳感器組成測(cè)量核心，使測(cè)量值受外部環(huán)境影響的變化盡可能小。
技術(shù)參數(shù)：
各種給規(guī)格的流量計(jì)：
包括單通道轉(zhuǎn)子流量計(jì)、多通道轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣體質(zhì)量流量計(jì)、液體體積流量計(jì)和體積流量計(jì)等。 流速2~58 L/min  精度：滿量程的±1*（包括線性）
重復(fù)性：滿刻度的±1*
工作環(huán)境溫度121°C
接口尺寸3/8英寸
輸出：電壓直流 0 到 5 V ；電流輸出4-20mA
直流電源 12 到 24V